0.50 - 100 µm
0.50 - 5.0 µm 以 0.5 µm为增幅
5.0 - 20.0 µm 以 1.0 µm为增幅
20.0 - 30.0 µm 以 2.0 µm为增幅
30.0 - 60.0 µm 以 5.0 µm为增幅
60.0 - 100.0 µm 以 10.0 µm为增幅

修块厚度范围1 - 600 µm
1.0 - 10.0 µm 以 1.0 µm为增幅
10.0 - 20.0 µm 以 2.0 µm为增幅
20.0 - 50.0 µm 以 5.0 µm为增幅
50.0 - 100.0 µm 以 10.0 µm为增幅
100.0 - 600.0 µm 以 50.0 µm为增幅

1-3.5 μm时，精度±15%；
4-10 μm时，精度±10%；
10 μm以上时，精度±5%；

40±5μm；

重复位置精度±5μm；

28±1mm

70±1mm

0.5~450mm/s±20%

X/Y轴8°

10°

0.5 mm

55*50*30 mm（大标准样品夹）